精密バルブパーツ・継手 組立/製造センターの
製品事例・詳細説明

半導体製造装置用バルブ②

材質
SUS316系特殊材
サイズ
高さ25㎜×全長28.5㎜
納品業界
機械部品
ロット
2,000個/月
用途・機能性
半導体装置用部品
製品名称
半導体製造装置用バルブ②
加工工程
外内径荒加工→横型マシニング加工→Φ2横穴加工→外内径仕上げ加工→マシニング加工

当加工事例の特徴

この事例は、半導体装置用のバルブです。
材質はSUS316系特殊材で、SUS316Lより切削性が悪いという特性があります。
こちらの製品の特徴としては、
①シール面、バニシング部面粗さRy3
②溝径の精度要求が厳しい(公差50μm)
③角度の違う上方向と下方向からの貫通穴を滑らかにつなげるのが困難
そこで適切な工程設計、加工方法の確立、加工条件を最適化することで、要求された精度を満足させています。
加えて、横型マシニング加工の工程では、無人連続加工を行っています。

精密バルブパーツ・継手 組立/製造センターでは、半導体装置用のバルブの製作も行っています。
材料、工法等、様々な視点から、高品質で最適なコストでの製造を提案しております。
また製造後の、評価解析も自社で行っており、製造から評価・解析までワンストップで行います。
高品質で適性コストの半導体装置用バルブの製作をご検討の方は、ぜひ当社までお問い合わせください。

お気軽にご相談ください

精密バルブパーツ・継手組立/製造センターを運営する荻野工業は、開発・設計技術と解析・評価試験技術に圧倒的な強みを持ち、お客様の要望にマッチした継手・バルブを提供してまいりました。これまで培ってきた実績・ノウハウを持って皆様に高付加価値な継手・バルブを提供いたします。