量産精密小物金属部品 組立/製造センターの
製品事例・詳細説明

半導体製造装置用 バルブ③

材質
SUS316L
サイズ
40.8mm×19.5mm×φ25mm
納品業界
半導体製造装置
ロット
月2,000個
用途・機能性
半導体製造装置の気体バルブ
製品名称
半導体製造装置用 バルブ③
加工工程
熱間鍛造品への切削加工

当加工事例の特徴

本事例は量産精密小物金属部品工法転換/工法開発センターが製造した、半導体製造装置のバルブパーツです。SUS316L製の熱間鍛造部品に切削加工を施すことで製品を仕上げています。

ポイントとしては気密性が必要となる部品の為、幾何公差に細かな指定が入っていた点と、断面図で見るとL型の管が製品下部にあり、同箇所の加工があげられます。

ポイント❶:気密性を要することで指定される幾何公差
平面度Ry3.2指定があり、高い精度が求められていました。当社では高い面粗度指定のある加工を得意としており、切削仕上げを行うことで仕上げています。

ポイント❷:気体が通るL型の管部分の加工
側面と表面からRリーマで加工を施し、穴をつなげる加工を施しました。接続部が滑らかなRとなるように仕上げている点がポイントです。

また、月2,000個の量産案件ですが、当社社内の各種設備を用いて一部全数検査による品質保証をしており、全数目視検査も行うことで安定した品質を確保し、お客様からも高い評価を得ております。

高精度な幾何公差指定がある量産部品でお困りの案件がございましたら、当社にお問い合わせください。

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量産精密小物金属部品組立/製造センターを運営する荻野工業は、開発・設計技術と解析・評価試験技術に圧倒的な強みを持ち、お客様の要望にマッチし量産精密小物金属部品を提供してまいりました。これまで培ってきた実績・ノウハウを持って皆様に高付加価値な量産精密小物金属部品を提供いたします。