当加工事例の特徴

この事例は、半導体製造装置用バルブです。

材質はSUS316Lで切削性が悪く加工しにくい、熱伝導率が低く加工硬化性が高いため、刃物の摩耗が早くチッピングしやすい素材です。
さらに、粘りもあるのでバリが出やすいことも特徴です。
形状は複雑で、溝加工（溝径50μm）の公差が狭く、内径の面粗さは全体的に厳しく、
特にシール面に関しては面粗さRy1.6が要求されており、安定的な精度維持が困難でした。
そこで、5軸加工機を用いて製作を行なうことで、1工程で、複雑な形状加工を実現し、要求された精度を満足させています。

精密バルブパーツ・継手 組立/製造センターでは、半導体製造装置用バルブの製作も行っています。
5軸加工機による加工で高精度な加工も可能です。
また製造後の、評価解析も自社で行っており、製造から評価・解析までワンストップで行います。
高品質で適性コストの半導体製造装置用バルブ製作をご検討の方は、ぜひ当社までお問い合わせください。